若水質中蒸發殘留物僅含數個ppm以下，達此純度水質的用水稱為「純水」；若水質純度再提高，其蒸發殘留物數僅及數個ppb之含量，則稱之為「超純水」。

至於如何表示超純水之純度，目前較常用導電率或有機物含量來表示，另依用途之使用目的而異，亦可使用粒子數、粒子尺寸、微生物數、氧化矽含量、特定陽離子（如鈉、鉀、銅）、陰離子（如硝酸、磷酸、硫酸）等含量表示之，但一般仍以導電率最容易測定且較為通用，表示法以25℃下每公分電路長度之導電度測定值來表示，使用之單位為microSimen/cm（μS/cm）。

※ 這裡有詳細的介紹：超純水的製作